Reaction Mechanisms and Dynamics in the Early Stage of High-κ Oxide Atomic Layer Deposition - Investigations by In Situ and Operando X-ray Photoemission Spectroscopy
- Författare
- Lunds universitet Giulio D'Acunto
- (Giulio D'Acunto., Härtill 8 uppsatser, Diss. (sammanfattning) Lund : Lunds universitet, 2021, Populärvetenskaplig sammanfattning på engelska och italienska)
- Genre
- Avhandlingar, theses
- Språk
- Engelska
| Förlag | År | Ort | Om boken | ISBN |
|---|---|---|---|---|
| Division of Synchrotron Radiation Research, Department of Physics, Lund University, Media-Tryck | 2022 | Sverige, Lund, Lund | xxii, 104 sidor illustrationer, tabeller 24 cm | 978-91-8039-230-3 |